闭环自适应光学系统是针对激光束在激光加工过程中产生的低阶像差进行校正的自适应光学系统。该闭环自适应光学系统由双压电晶片变形镜（DM）作为波前校正器，采用改进的Shack-Hartmann技术测量波前梯度的和实现闭环算法的软件组成。

闭环自适应光学系统规格

•输入光束孔径-高达500 mm

•波长范围-400…1100 nm（或根据客户要求）

•波前采样-20x20 lenslet子孔径或更多

•工作频率-高达100Hz

•最大校正像差-高达30λ@632.8 nm

•校正精度-优于λ/10@632.8 nm

•工作电压-100-120和200-240VAC@50/60Hz

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闭环自适应光学系统软件包括：

•参考波前测量

•DM响应函数的测量

•P-V，RMS的计算

•参考波前的保存与恢复

•闭环算法的“冻结”

•显示控制电压、电压条、条纹、泽尼克系数、泽尼克条、波前梯度、参考状态

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闭环自适应光学系统标准包装：

•变形双晶片镜

•双晶片反射镜控制器

•哈特曼波前传感器

•M2传感器（可选）

•计算机（可选）

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